工作原理
單晶(jing)硅遠傳(chuan)差(cha)壓(ya)(ya)變送(song)器(qi)(qi) 傳(chuan)感(gan)器(qi)(qi)模塊采用全焊(han)接技術,內部(bu)擁有一(yi)個整體化(hua)的(de)(de)(de)過載膜片(pian),一(yi)個壓(ya)(ya)力傳(chuan)感(gan)器(qi)(qi)和一(yi)個溫(wen)度(du)(du)傳(chuan)感(gan)器(qi)(qi)。溫(wen)度(du)(du)傳(chuan)感(gan)器(qi)(qi)作為溫(wen)度(du)(du)補償(chang)的(de)(de)(de)參考值(zhi)。壓(ya)(ya)力傳(chuan)感(gan)器(qi)(qi)的(de)(de)(de)正壓(ya)(ya)側與(yu)傳(chuan)感(gan)器(qi)(qi)膜盒(he)的(de)(de)(de)高壓(ya)(ya)腔相連,傳(chuan)感(gan)器(qi)(qi)的(de)(de)(de)負壓(ya)(ya)側與(yu)傳(chuan)感(gan)器(qi)(qi)膜盒(he)的(de)(de)(de)低壓(ya)(ya)腔相連,壓(ya)(ya)力通過隔離膜片(pian)和填充液,傳(chuan)遞給(gei)傳(chuan)感(gan)器(qi)(qi)內的(de)(de)(de)硅芯片(pian),使壓(ya)(ya)力傳(chuan)感(gan)器(qi)(qi)的(de)(de)(de)芯片(pian)的(de)(de)(de)阻值(zhi)發生變化(hua),從而導致檢(jian)測系統輸(shu)出(chu)電(dian)壓(ya)(ya)變化(hua)。該(gai)輸(shu)出(chu)電(dian)壓(ya)(ya)與(yu)壓(ya)(ya)力變化(hua)成正比,再由適(shi)配(pei)單元和放大器(qi)(qi)轉化(hua)成一(yi)標準化(hua)信號輸(shu)出(chu)。
單晶硅壓力變送器優勢
物理參數: